星空体育:解读:现代超精密加工技术的发展现状
文章出处:本站 人气:发表时间:2024-05-22 13:16
解读:现代超精密加工技术的发展现状
随着1960年代初期航空航天技术的发展,超精密加工技术首先在美国提出,并在政府和军方的财政支持下迅速发展。1970年代,日本还成立了超精密加工技术委员会,并制定了相应的发展计划,以将该技术纳入高科技产业。经过多年的发展,日本在民用光学,电子和信息产品行业中一直处于世界领先地位。
超精密加工
近年来,美国实施了“微米和纳米级技术”国家关键技术计划,国防部也已实施。成立了专门委员会来协调和协调研究工作。美国目前至少有30多家公司开发和生产各种类型的超精密加工机床。Lawrence-Livermore国家实验室(LLNL),MooreqMoore等在国际超精密加工技术领域早已众所周知。使用这些超精密加T设备对不同形状和类型的零件的陶瓷,硬质合金,玻璃和塑料材料进行超精密加工,用于航空,航天,半导体,能源,医疗设备和其他行业。
日本有20多家超精密加工机床开发公司,专注于民用产品所需的超精密加工设备的开发,并大量生产了各种商用超精密加工机床:日本的照相机,电视,复印机,投影仪民用光学行业的飞速发展与其先进的超精密Gadine技术有着直接的关系。自1960年代以来,英国一直在研究超精密加工技术。现在,它已经建立了国家纳米技术战略委员会,并正在执行国家纳米技术研究计划。德国和瑞士也以生产精密加T设备而闻名。1992年后,欧洲实施了一系列联合研发计划。加强和促进精密超精密加工技术的发展
超精密加工是指亚微米级(尺寸误差为0.3~0.03μm,表面粗糙度为Ra0.03~0.005μm)和纳米级(精度误差为0.03μm,表面粗糙度小于Ra0.005μm)精度的加工。实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施,则称为超精加工技术。加之测量技术、环境保障和材料等问题,人们把这种技术总称为超精工程。超精密加工主要包括三个领域:超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削,可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工,线宽可达0.1μm。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工,线宽可达2~5nm。
a、超精密切削
超精密切削以SPDT技术开始,该技术以空气轴承主轴、气动滑板、高刚性、高精度工具、反馈控制和环境温度控制为支撑,可获得纳米级表面粗糙度。多采用金刚石刀具铣削,广泛用于铜的平面和非球面光学元件、有机玻璃、塑料制品(如照相机的塑料镜片、隐形眼镜镜片等)、陶瓷及复合材料的加工等。未来的发展趋势是利用镀膜技术来改善金刚石刀具在加工硬化钢材时的磨耗。此外,MEMS组件等微小零件的加工需要微小刀具,目前微小刀具的尺寸约可达50~100μm,但如果加工几何特征在亚微米甚至纳米级,刀具直径必须再缩小,其发展趋势是利用纳米材料如纳米碳管来制作超小刀径的车刀或铣刀。
b、超精密磨削
超精密磨削是在一般精密磨削基础上发展起来的一种镜面磨削方法,其关键技术是金刚石砂轮的修整,使磨粒具有微刃性和等高性。超精密磨削的加工对象主要是脆硬的金属材料、半导体材料、陶瓷、玻璃等。磨削后,被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹,残留高度极小,加上微刃的滑挤、摩擦、抛光作用,可获得高精度和低表面粗糙度的加工表面,当前超精密磨削能加工出圆度0.01μm、尺寸精度0.1μm和表面粗糙度为Ra0.005μm的圆柱形零件。
c、超精密研磨
超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨的关键条件是几乎无振动的研磨运动、精密的温度控制、洁净的环境以及细小而均匀的研磨剂。超精密研磨加工出的球面度达0.025μm,表面粗糙度Ra达0.003μm。
d、超精密特种加工
超精密特种加工主要包括激光束加工、电子束加工、离子束加工、微细电火花加工、精细电解加工及电解研磨、超声电解加工、超声电解研磨、超声电火花等复合加工。激光、电子束加工可实现打孔、精密切割、成形切割、刻蚀、光刻曝光、加工激光防伪标志;离子束加工可实现原子、分子级的切削加工;利用微细放电加工可以实现极微细的金属材料的去除,可加工微细轴、孔、窄缝平面及曲面;精细电解加工可实现纳米级精度,且表面不会产生加工应力,常用于镜面抛光、镜面减薄以及一些需要无应力加工的场合。
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